09:15 〜 09:30 △ [8a-S22-2] InGaAsナノシートチャネルを持つマルチゲートMOSFETに向けた作製プロセス開発 〇大澤 一斗1、金澤 徹1、木瀬 信和1、雨宮 智宏1、宮本 恭幸1 (1.東工大)