14:15 〜 14:30 [8p-A301-5] GaN MOVPEにおける気相中および基板上での反応プロセス解明 〇関口 一樹1、白川 裕規1、長川 健太1、洗平 昌晃2,1、寒川 義裕3,2、柿本 浩一3、白石 賢二2,1 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)