13:30 〜 15:30
〇山根 大輔1,3、小西 敏文1,2,3、佐布 晃昭2、橘 航一朗1,3、寺西 美波1,3、陳 君怡1,3、Chang Tso-Fu Mark1,3、曽根 正人1,3、町田 克之1,3、益 一哉1,3 (1.東工大、2.NTT-AT、3.JST-CREST)
山根 大輔
発表者・著者、共著者
2017年9月8日(金) 13:30 〜 15:30 PA2 (国際センター1F)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術