2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

小山 正人

座長等

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:30 C19 (C19)

  • シンポジウム(口頭講演)
  • | シンポジウム
  • | 新デバイス・材料開発のためのナノスケール3次元分析(I)

小山 正人(東芝)、橋詰 富博(日立)

2017年9月5日(火) 09:00 〜 12:00 C11 (事務室1)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 13 半導体
  • | 13.3 絶縁膜技術

[5a-C11-1~11] 13.3 絶縁膜技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

小山 正人(東芝)、大田 晃生(名大)