[5a-A413-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

△ [5a-A413-5] 時間分解プローブ及び RF プローブ法によるアフターアークプラズマにおける酸素負イオン生成機序の解明

〇北見 尚久^1,2、野本 淳一²、酒見 俊之¹、牧野 久雄^2,3、青木 康¹、山本 哲也² (1.住友重機械、2.高知工科大学総研、3.高知工科大学システム工)

キーワード：酸素負イオン、プラズマ診断、時間分解プローブ法