[5a-C11-1~11] 13.3 Insulator technology

[5a-C11-8] Thermal Dry Etching Method for Lanthanum Oxide by using Surface Modification with Organometallic Complex

〇Yoshihide Yamaguchi¹, Kazunori Shinoda¹, Yutaka Kouzuma², Satoshi Sakai², Masaru Izawa² (1.Hitachi. Ltd. R&D group, 2.Hitachi High-Technologies Corporation)

Keywords:Lanthanum Oxide, Dry Etching, Organometallic Complex

High-k材として期待される酸化ランタンのドライエッチングを検討し、有機性材料ガスを用いて有機金属錯体化した後に熱処理するプロセスを開発した。開発プロセスでは400℃以下の加熱によって有機金属錯体層が除去される。講演では一連の処理における重量変化および有機金属錯体の同定について言及する。