[5a-C11-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[5a-C11-8] 有機金属錯体化反応を活用した酸化ランタンの熱ドライエッチング

〇山口 欣秀¹、篠田 和典¹、高妻 豊²、酒井 哲²、伊澤 勝² (1.日立研開、2.日立ハイテク)

キーワード：酸化ランタン、ドライエッチング、有機金属錯体

High-k材として期待される酸化ランタンのドライエッチングを検討し、有機性材料ガスを用いて有機金属錯体化した後に熱処理するプロセスを開発した。開発プロセスでは400℃以下の加熱によって有機金属錯体層が除去される。講演では一連の処理における重量変化および有機金属錯体の同定について言及する。