[5a-S44-1~11] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5a-S44-3] Photon Factory BL-11D の波長 13.5 nm における 2 次光評価

〇羽多野 忠¹ (1.東北大多元研)

キーワード：高次光、分光器、多層膜ミラー

Photon FactoryのBL-11DはEUV-軟X線領域の光学素子評価ビームラインであり、定量性の高い計測のために高次光が少ないことが要求される。特にEUVLで使用される波長13.5 nmが重要である。187 eV (6.6 nm)に反射ピークを持つLa/C多層膜の反射率測定を93.5 eV (13.3 nm)で実施した。2次光が含まれている場合に測定される反射ピーク信号が実測値では見られなかった。このことはBL-11Dでは93.5 eV付近で2次光はほとんど含まれていないことを示す。