[5a-S44-1~11] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5a-S44-4] ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟Ⅹ線撮像素子の開発

〇江島 丈雄¹、羽多野 忠¹ (1.東北大多元研)

キーワード：軟X線用撮像素子

市販のピクセルサイズ1.4×1.4μm²の可視用２次元撮像素子を利用して、軟X線領域で動作する２次元撮像素子を作製し、その評価をPF BL-11D光学素子評価ビームラインを用いて行った。その結果、作製した撮像素子が軟X線領域で動作することを確認し、その素子の250eVから1000eVの光エネルギー範囲における相対量子効率を実験的に得る事が出来た。