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[5p-A411-6] Development of Organic-Inorganic Hybrid Structure ZnSe Semiconductor Ultraviolet APD ~Improvement of Multiplication Factor~
Keywords:ZnSe, UV Avalanche Photodiode, organic-inorganic hybrid structure
ZnSe/PEDOT:PSS有機‐無機ハイブリッド紫外アバランシェ・フォトダイオード(APD)を開発している.今回は,増倍率向上のために活性膜厚を増加し増倍率が向上したので,その結果を報告する.