2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[5p-C11-1~10] 13.3 絶縁膜技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

2017年9月5日(火) 13:45 〜 16:30 C11 (事務室1)

井上 真雄(ルネサス)、渡邉 孝信(早大)

16:15 〜 16:30

[5p-C11-10] Amorphous-SiO2中の金属原子が示す化学的傾向

宮島 岳史1、白川 裕規1、洗平 昌晃2,1、白石 賢二2,1 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード:絶縁体、二酸化ケイ素、第一原理計算