[5p-C11-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[5p-C11-8] KFMによるSiN膜中捕獲電荷の放出特性評価

〇小澤 航大¹、蓮沼 隆¹ (1.筑波大学)

キーワード：SiN、KFM