[5p-C22-1~9] 1.6 超音波

△ [5p-C22-9] 光音響イメージングを用いた窒化ケイ素の表面欠陥評価

〇(M1)遠藤 大輔¹、山本 壮里¹、多々見 純一²、高橋 英嗣¹、山岡 禎久¹ (1.佐大院工、2.横国大院工)

キーワード：光音響、セラミックス、欠陥評価

本研究では、近年、生体深部を高コントラストに観察する方法として注目されている光音響イメージングを用いて窒化ケイ素の微小な表面欠陥を評価できないか検討を行った。今回、原理検証を行うために、欠陥ファントムとして、簡易的表面欠陥を付けたプラスチック、表面に微小な圧痕をつけ、研磨した窒化ケイ素を用いて、光音響イメージングによる測定を行った。