2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[5p-PA1-1~82] 17 ナノカーボン(ポスター)

2017年9月5日(火) 13:30 〜 15:30 PA1 (国際センター1F)

13:30 〜 15:30

[5p-PA1-39] RF-N2プラズマ照射による4H-SiCポーラスエピタキシャルグラフェンの孔密度制御

竹田 直喜1、石丸 大樹1、今井 宏友1、橋本 明弘1 (1.福井大院工)

キーワード:陽極酸化、ポーラスエピタキシャルグラフェン