[5p-PA1-1~82] 17 ナノカーボン（ポスター）

[5p-PA1-63] 吸引型プラズマによるWSe₂の単層エッチング

〇宮脇 淳¹、久保 利隆¹、清水 哲夫¹、新堀 俊一郎²、高橋 賢²、遠藤 和弘³、安藤 淳¹ (1.産総研、2.三友製作所、3.金沢工大)

キーワード：二次元層状物質、吸引プラズマ、エッチング

二次元層状化合物であるWSe₂を吸引型プラズマを用いてエッチング加工した。直径および深さがそれぞれ約600、および18マイクロメーターの加工痕が作製された。加工痕底部では、最小でも500nmの範囲内で1~2層程度の表面粗さしかなく、ほぼ単層ごとのエッチングが起こっていることが確認された。