[5p-PA2-1~29] 12.1 作製・構造制御

[5p-PA2-25] ナノダイヤモンド薄膜の電気的特性

〇(M1)杉本 有莉子¹、大石 不二夫²、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大院工、2.神奈川大理)

キーワード：ダイヤモンド、ナノ粒子

ダイヤモンドナノ粒子のコロイド溶液を用いて薄膜の作製を行った．その上に真空蒸着装置内でAlq3および櫛型の銀電極を蒸着することによって，電気特性評価用の素子を作製した．ダイヤモンドを導入していない素子では電流が流れにくいのに対して，導入した素子では電流が流れやすくなった．さらに，ナノダイヤモンド薄膜の膜厚が小さいほど電流が流れやすくなり，ダイヤモンドが有する電子注入効果が得られやすくなった．