[5p-PB1-1~13] 3.13 半導体光デバイス

[5p-PB1-12] Si基板上への導波路および受光素子集積化技術の研究

〇漆間 太一¹、雨宮 嘉照¹、横山 新¹ (1.広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所)

キーワード：半導体、シリコンフォトニクス、光検出器