[5p-PB7-1~8] 1.6 Ultrasonics

△ [5p-PB7-3] Longitudinal-type Leaky SAW on LiNbO₃ Thin Plate Bonded to Quartz Substrate

〇(M1)Junki Hayashi¹, Kosuke Yamaya¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Haruka Suzaki², Toshifumi Yonai³, Kazuhito Kishida³, Jun Mizuno² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Waseda Univ., 3.The Japan Steel Works, Ltd.)

Keywords:surface acoustic wave, resonator, quartz

本報告では，高速・高結合・高安定なSAW基板構造の実現に向け，LiNbO₃(LN)薄板と高音速な水晶基板を接合させた試料を作製し，縦型リーキーSAW(LLSAW)の伝搬特性を評価した．電気機械結合係数K²は17.1％が得られ，LN単体より1.6倍増加した．さらにアドミタンス比が14 dBから31 dBに，共振Q値が6.3から50にそれぞれ増加した．また，挿入損失はLN単体より約5 dB小さい値が得られたが，伝搬減衰は同様の結果となった．