[5p-PB7-1~8] 1.6 Ultrasonics

[5p-PB7-4] Propagation Properties of Leaky Surface Acoustic Wave on Water-loaded Piezoelectric Substrate

〇Ryota Suenaga¹, Masahi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yuju Ohashi², Mototaka Arakawa², Jun-ichi Kushibiki² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:Surface Acoustic Wave, Line-Focus-Beam Acoustic Microscope

本報告では，送受のすだれ状電極(IDT)を用いて，水負荷圧電基板上の漏洩弾性表面(LeakySAW: LSAW)の伝搬損失から，水への漏洩損失の計算値を差し引くことによって試料の音響損失を評価した．水への漏洩損失の小さなモードを用いることで評価した結果は，試料の音響損失に相当するRSAWの伝搬損失に概ね一致することを確認した．