2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

2017年9月5日(火) 13:15 〜 18:45 S41 (第1会議室)

川崎 忠寛(JFCC)、石川 信博(物材機構)、永井 滋一(三重大)

16:15 〜 16:30

[5p-S41-11] 光制御のための透明基板を用いたフィールドエミッタアレイ

家老 統矢1、岩見 健太郎1、梅田 倫弘1 (1.農工大院工)

キーワード:エミッタアレイ、電子ビーム

放出電流をレーザ光によって制御するために,光を透過できる透明基板を用いてエミッタアレイ(FEA)を製作した.エミッタは基板中心の直径3 mmの円形範囲内に約3万個配列されるように設計した。また,エミッタの形成にはBHFによるサイドエッチングを利用し,ゲートの開口にはセルフアライメント法を用いて製作した.FEAの電子放出特性を調査したところ,電流値はFowler–Nordheim則による近似によく一致し,電界放出が生じたことが確認された.