[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

△ [5p-S41-11] 光制御のための透明基板を用いたフィールドエミッタアレイ

〇家老 統矢¹、岩見 健太郎¹、梅田 倫弘¹ (1.農工大院工)

キーワード：エミッタアレイ、電子ビーム

放出電流をレーザ光によって制御するために，光を透過できる透明基板を用いてエミッタアレイ(FEA)を製作した．エミッタは基板中心の直径3 mmの円形範囲内に約3万個配列されるように設計した。また，エミッタの形成にはBHFによるサイドエッチングを利用し，ゲートの開口にはセルフアライメント法を用いて製作した．FEAの電子放出特性を調査したところ，電流値はFowler–Nordheim則による近似によく一致し，電界放出が生じたことが確認された．