[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

[5p-S41-15] 電子ビーム誘起堆積Ptを用いた自己検出型カンチレバーの開発

〇樫田 健汰¹、若家 冨士男¹、山下 隼人^1,2、宮戸 祐治¹、阿保 智¹、阿部 真之¹ (1.阪大院基礎工、2.JST さきがけ)

キーワード：電子ビーム誘起堆積Pt、自己検出型カンチレバー