[5p-S41-1~20] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[5p-S41-17] Development of low work function LaB₆ cathode with infiltration of carbide solution

Takaya Kobayashi¹, Tomoya Yokoyama¹, 〇Hidekazu Murata¹, Eiji Rokuta¹, Hiroshi Shimoyama¹, Hiroshi Yasuda², Yoshihisa Ooae² (1.Meijo Univ., 2.PARAM Corp.)

Keywords:electron beam lithography, low work function, thermionic electron gun

レニウムエミッタを土台とし、その先端周辺部に粒径3 ~ 5 umのLaB₆粉末体を配置し、その上に炭化物溶液を浸透させたものをエミッタとして、熱電子放出実験を行った。