[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

[5p-S41-17] 炭化物溶液を浸透させたLaB₆熱陰極の低仕事関数化

小林 敬也¹、横山 智哉¹、〇村田 英一¹、六田 英治¹、下山 宏¹、安田 洋²、大饗 義久² (1.名城大理工、2.(株)PARAM)

キーワード：電子線リソグラフィー、低仕事関数、熱電子銃

レニウムエミッタを土台とし、その先端周辺部に粒径3 ~ 5 umのLaB₆粉末体を配置し、その上に炭化物溶液を浸透させたものをエミッタとして、熱電子放出実験を行った。