[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

[5p-S41-18] 酸素導入による金属ホウ化物熱陰極への影響

〇小林 敬也¹、横山 智哉¹、村田 英一¹、六田 英治¹、下山 宏¹、安田 洋² (1.名城大理工、2.(株)PARAM)

キーワード：電子線リソグラフィー、熱電子銃、酸素導入