[5p-S42-1~15] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[5p-S42-4] Characterization of CMOS image sensor for soft x-ray

〇Tetsuo Harada¹, Yusuke Nakatani¹, Nobukazu Teranishi¹, Takeo Watanabe¹ (1.Univ. of Hyogo)

Keywords:Soft X-ray, CMOS image sensor

本研究では、最近開発された科学計測用の裏面照射CMOS イメージセンサ（GSENSE400BSI Gpixel）の軟Ｘ線特性を兵庫県立大学の放射光施設ニュースバルにて評価した。（センササイズ 22.5 mm□、ピクセルサイズ11 μm□、2048 x 2048 ピクセル、フレームレート 48 fps、Full well charge >89 ke^-、実測読み出しノイズ 2 e^-rms)