[5p-S44-1~10] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5p-S44-10] MEMS X線光学系の表面形状測定による鏡配置精度の評価

〇寺田 優¹、沼澤 正樹¹、江副 祐一郎¹、武内 数馬¹、伊師 大貴¹、藤谷 麻衣子¹、大橋 隆哉¹、石川 久美²、満田 和久²、森下 浩平³ (1.首都大理、2.宇宙研、3.京大工)

キーワード：X線、望遠鏡、シリコン

我々は MEMS 技術を利用した X 線望遠鏡を開発している。 Si 基板に、穴幅 20 μm の曲面微細穴を開け、球面に変形してX 線を集光する。 球面変形は鏡の配置精度に直結するため重要だが、穴が微細で回折を避けるために平行 X 線を照射して評価する必要があった。そこで新たにレーザー顕微鏡での表面形状測定によって配置精度を見積もる手法を開発し、これが有用であることが示唆された。従来に比べ測定のスピードを早めることができる。