[6a-A203-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[6a-A203-6] スピネル型ZnGa₂O₄を用いた高耐久性薄膜トランジスタの開発

〇中積 誠¹、西 康孝¹、岩堀 恒一郎¹ (1.ニコン)

キーワード：酸化物半導体、スピネル、薄膜トランジスタ