[6a-A301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [6a-A301-11] スパッタ法で成膜したr面サファイア基板上a面AlNの高品質化

〇福田 涼¹、山木 佑太¹、林 侑介^1,2、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹ (1.三重大学院工、2.地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、スパッタリング法、アニ－ル