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[6a-A502-6] 微細構造制御による導電体/絶縁体複合セラミックキャパシタの誘電特性改善
キーワード:誘電材料、複合材料、低温プロセス
粒界絶縁型構造を持ち、高い有効比誘電率を示す導電体/絶縁体ナノ複合キャパシタの低温作製法の確立を目指す。チタン-チタン酸バリウム(Ti-BT)コア-シェル粒子を加圧成型・水熱処理することで、粒界絶縁型の複合誘電材料を低温で作製できる。誘電特性はBT粒界層の厚さに依存することも分かった。さらに導電層にニッケル酸ランタンを用いたフルセラミックスナノ複合キャパシタの作製についても報告する。