[6a-C19-1~9] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

[6a-C19-1] Off resistivity of electrolyte solution gate FET with carbon nanotube forest channel

〇Masafumi Inaba^1,2, Hiroshi Kawarada³ (1.Nagoya Univ., 2.JSPS, 3.Waseda Univ.)

Keywords:carbon nanotube, transistor

垂直配向したカーボンナノチューブ(CNT)フォレストを、その軸方向に垂直な方向をチャネルとしたFETを作製し、その伝達特性から、CNTの平均的オフ抵抗を算出したので報告する。