[6a-C21-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[6a-C21-11] 連結式低電圧マイクロEHDポンプの研究

〇(M2)佐藤 匡¹、前田 真吾¹、山西 陽子² (1.芝浦工大、2.九大)

キーワード：電気流体現象、マイクロ流路

本研究では電気流体現象（ElectroHydroDynamics）と呼ばれる現象を用いて機械部品のないポンプの設計・開発を行った．今回開発したEHDポンプの特徴は低電圧で連結することにより出力が大きく取り出すことのできる点である．この研究は歯車やモータなどの小型化ではなく電気化学的な反応によって送液を行うことで小型かつ簡便なケミカルアクチュエータの開発に貢献することができる．