[6a-C21-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[6a-C21-12] 細胞サンプル搬送機能を持つプラズマ処理デバイス

柄﨑 克樹¹、熊谷 慎也¹、〇佐々木 実¹ (1.豊田工大)

キーワード：プラズマ処理、バイオサンプル、搬送デバイス

生物サンプルの大気圧プラズマ処理が注目されている。処理量に対して、生物は活性化、機能低下、死滅を示す。特に活性化効果を得るには、処理量の制御が重要となる。大気中でのプラズマ処理は、混入大気や水分が酸素源となり、結果の再現性が乏しくなる。本研究では、清浄ガスが流れるガラス管内にて搬送機能を持つデバイスを提案し、スイートピー花粉の処理を行った。