[6a-C22-1~11] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[6a-C22-8] ヘテロエピタキシャルITO薄膜における熱伝導率の結晶方位依存性

〇中野 綾香¹、竹歳 尚之^1,2、山下 雄一郎^1,2、八木 貴志^1,2、賈 軍軍¹、重里 有三¹ (1.青山学院大、2.産総研)

キーワード：スズ添加酸化インジウム (ITO)、ヘテロエピタキシャル、熱伝導率