[6a-C22-1~11] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[6a-C22-9] ダイヤモンドライクカーボン薄膜中のTiドーパントによる熱伝導率への影響

〇鈴木 崇啓¹、山下 雄一郎^1,2、八木 貴志^1,2、竹歳 尚之^1,2、賈 軍軍¹、重里 有三¹ (1.青学大理工、2.産総研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、熱伝導率、薄膜