[6a-C24-1~9] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [6a-C24-8] 走査型プローブ顕微鏡像のドリフト補正

〇木津 良祐¹、三隅 伊知子¹、平井 亜紀子¹、権太 聡¹ (1.産総研)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡、ドリフト補正

走査型プローブ顕微鏡測定では、熱ドリフトと呼ばれる、探針と試料の相対位置変化による像変形が起こる。本報告では、原子間力顕微鏡（AFM）によるシリコンラインパターンの三次元形状計測における熱ドリフトを補正する手法を提案する。実験の結果、本手法によりAFM像にのった数nm以下の時間変化する熱ドリフトが補正できた。