[6a-PA3-1~23] 3.9 テラヘルツ全般

[6a-PA3-2] ダイポールアレイアンテナ集積共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器の多素子アレイ

笠木 浩平¹、〇鈴木 左文¹、浅田 雅洋¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ、共鳴トンネルダイオード、アレイ

放射のためのSiレンズを必要としない、帯域の広いダイポールアンテナアレイを集積した共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器をアレイ化し出力向上を行った。アレイ構造においては、各素子の配線長を短くし配線を厚膜化することで低抵抗化し、配線レイアウトの工夫で大きな動作電流でも電圧降下を各素子で同じにすることができ多素子の同時動作を実現した。アレイ数とともに出力は向上し、89素子のアレイによって0.73mWの高出力を1THzで得た。