[6a-PA7-1~2] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [6a-PA7-1] 原子ステップ型ポリマー基板上への自己組織化モールドを用いた周期的ナノ構造の熱ナノインプリント形成

〇木下 太一郎¹、岩佐 健¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産総研)

キーワード：熱ナノインプリント、酸化物ナノ構造、表面ナノ構造

我々はこれまでに、高さ0.3 nmの原子ステップを持つ単結晶モールドを用いた熱ナノインプリント法により、非晶質材料表面に原子スケールパターンの転写を行ってきた。一方で、これまでのSiモールドに加えて、熱的・化学的に安定な酸化物、とくに自己組織化ナノ構造を用いることは、形状制御性の向上にも寄与できる。本研究では、自己組織化酸化物などをモールドとしたポリマー表面における微細構造の転写形成について検討した。