[6a-PA8-1~4] 7.5 イオンビーム一般

[6a-PA8-4] CuCl含有イオン液体EMIM-DCAへの電子線照射によるCu薄膜の形成

〇東浦 佑真¹、竹内 光明¹、龍頭 啓充¹ (1.京大光電子理工セ)

キーワード：電子線、イオン液体、3Dプリント