[6a-PA9-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[6a-PA9-10] 高湿環境下でのSiO_x膜の表面酸化過程

〇奥 友希¹、志賀 俊彦¹、戸塚 正裕¹、高木 晋一¹ (1.三菱電機)

キーワード：耐湿性、シリコン酸化膜、加水分解

高湿度環境下で酸化されたSiN_x膜はSiO_x膜に変化し、SiO_x膜はさらに過度に酸化される。いわゆる加水分解の初期過程であるSiO_x膜の過剰酸化機構を分子軌道計算により解析した。