[6a-PA9-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[6a-PA9-5] 分子動力学計算によるAlO_xN_y/SiO₂界面におけるダイポール形成の駆動力の調査

〇高橋 憶人¹、中川 宣託¹、富田 基裕¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：MDシミュレーション、high-k、界面ダイポール