[6a-PA9-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[6a-PA9-8] SiCN膜を用いた電荷捕獲型メモリの正孔捕獲特性

〇美濃 暢¹ (1.東海大院工)

キーワード：シリコン炭窒化膜、正孔捕獲特性