[6a-PA9-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[6a-PA9-9] シリコン窒化膜の常磁性欠陥に対する熱処理の効果（Ⅴ）

〇(M1)新里 健也¹、数見 理¹、小林 清輝¹ (1.東海大院工)

キーワード：シリコン窒化膜