[6a-PB1-1~46] 11 超伝導（ポスター）

△ [6a-PB1-17] PLD法によるGdBa₂Cu₃O_y薄膜表面における微粒子発生原因の検討

〇村上 達哉¹、寺西 亮¹、佐藤 幸生¹、金子 賢治¹ (1.九大工)

キーワード：超電導、GdBCO、YBCO

パルスレーザー蒸着法によるGdBa₂Cu₃O_y(GdBCO)の成膜過程で発生する微粒子の発生原因を微粒子の発生傾向の異なるYBa₂Cu₃O_y(YBCO)とのターゲットの微細組織の比較により検討した。同一の条件でGdBCOとYBCOのターゲットを作製し両者をSEMとEDSマッピングにて観察したところ、表面の形状や構成元素の濃化の相違点を発見した。