[6a-S41-1~11] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

△ [6a-S41-3] 多層膜X線ターゲットとピクセル検出器を用いた元素識別X線イメージング

〇細野 凌¹、塚本 大裕¹、川端 智樹²、林田 清²、工藤 統吾^3,4、尾崎 恭介³、初井 宇記³、寺西 信一⁵、細井 卓治¹、渡部 平司¹、志村 考功¹ (1.阪大院工、2.阪大院理、3.理研、4.JASRI、5.兵庫県大高度研)

キーワード：ピクセル検出器、元素識別、マイクロフォーカスX線源

我々はこれまでに各素子がエネルギー分解能を有するSOIピクセル検出器（SOPHIAS）と振幅格子を用いることで、原子番号や厚さが異なる試料へのエネルギー分解X線イメージングを報告してきた。しかし、SOPHIASのエネルギー分解能では原子番号の近い２つの物質をその吸収端から識別することは困難である。本研究ではX線ターゲットからの特性X線を積極的に利用することで、SOPHIAS単体では識別できない原子番号の近い物質を識別する手法を検討した。