[6a-S44-1~10] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[6a-S44-9] 二酸化バナジウムVO₂ナノ粒子における近赤外光局在プラズモン共鳴

〇西川 和孝¹、岸田 佳大¹、竹田 康彦¹ (1.豊田中研)

キーワード：プラズモン、VO2、二酸化バナジウム

スパッタ成膜と、その後のランプアニールによって、石英基板上に二酸化バナジウムVO₂ナノ粒子を作製した。ランプアニール中の酸素分圧を変えることで粒径を制御できることが分かった。作製したナノ粒子は69 ℃以上の高温で、波長1200-1600 nmの領域で局在プラズモン共鳴を示した。また、同様の方法でWドープVO₂ナノ粒子を作製し、室温においてプラズモン共鳴の発現に成功した。