[6p-A204-1~23] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[6p-A204-3] Study of silicon heterojunction solar cells with metals directly formed on a-Si films

〇Takeo Konishi¹, Koichi Koyama¹, Keisuke Ohdaira¹, Hideki Matsumura¹ (1.JAIST)

Keywords:heterojunction, solar cells, interdigitated back contact

a-Si/c-Siヘテロ接合裏面電極型太陽電池は，世界最高効率が得られる太陽電池構造として注目されているが，裏面電極のパターン形成を兼価に済ます技術開発がその普及のためには必要であり，今回我々はa-Si上に直接Alを堆積して太陽電池特性を熱処理温度依存性から評価した．その結果，150 °Cまでの熱処理によって試料のV_OCは向上する結果となり，Alのa-Siへの拡散の影響を抑えて太陽電池特性向上に寄与する可能性のあることを見出した．