[6p-A412-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[6p-A412-14] Ab initio Study of Electrodes on Diamond:
Evaluation of Adhesion Strength and Electric Property

〇Tom Ichibha¹, Kenta Hongo^2,3,4, Ryo Maezono² (1.Sch. Mater. Sci., JAIST, 2.Sch. Info. Sci., JAIST, 3.NIMS, 4.PRESTO, JST)

Keywords:DFT, Diamond, Electrode

各種金属電極に対し、ダイヤモンド-電極間の接合強度と電気的特性を第一原理計算から評価した。電極特性はダイヤモンドの表面終端処理(酸素/水素)により大きく変化した。接合強度を単位面積当たりの界面エネルギーから評価したところ「Cr/酸素終端」の強度が最も高いことが示された。また電子状態密度の解析から接触のオーム性や電気伝導性を推量でき、「Ti/終端なし」の特性がとりわけ良いと結論づけた。