[6p-A412-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[6p-A412-14] 第一原理計算によるダイヤモンド-金属電極間の接合強度予見と電気的特性評価

〇市場 友宏¹、本郷 研太^2,3,4、前園 涼² (1.北陸先端大マテ、2.北陸先端大情報、3.物材機構、4.JSTさきがけ)

キーワード：第一原理計算、ダイヤモンド、電極

各種金属電極に対し、ダイヤモンド-電極間の接合強度と電気的特性を第一原理計算から評価した。電極特性はダイヤモンドの表面終端処理(酸素/水素)により大きく変化した。接合強度を単位面積当たりの界面エネルギーから評価したところ「Cr/酸素終端」の強度が最も高いことが示された。また電子状態密度の解析から接触のオーム性や電気伝導性を推量でき、「Ti/終端なし」の特性がとりわけ良いと結論づけた。