2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[6p-A503-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:00 A503 (503)

大野 裕(東北大)、仮屋崎 弘昭(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)、中川 聰子(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)

13:45 〜 14:00

[6p-A503-1] 電子線照射発光活性化PL法におけるSi中の炭素濃度計測の電子線照射量影響

〇中川 聰子1、永井 勇太1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：フォトルミネッセンス、炭素、電子線照射