[6p-A503-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[6p-A503-12] データ科学的手法による効率的なマッピング(3)：測定点移動距離の検討

〇沓掛 健太朗¹、菊地 亮太²、大野 裕¹、下山 幸治² (1.東北大金研、2.東北大流体研)

キーワード：マッピング、データ科学、最適化

試料表面上の測定位置などを変えて物理量の分布を求めるマッピング測定は、理工研究では極めて基礎的な測定である。我々は、より少ない測定点数からより確からしい物理量分布を得ることを目指し、データ科学的手法を用いてマッピング中に測定データを解析し測定座標を逐次に決定する、適応的なマッピングを提案している。本発表では、測定点移動距離についての検討結果を報告する。